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皮尔逊算法在半导体工艺上的应用
文献摘要：
在半导体生产制造过程中,工艺控制不当会影响芯片品质和性能.为了准确定位由此所造成芯片成品率低的工艺缺陷,本文提出了基于皮尔逊相关系数的工艺定位方法.该方法以影响芯片成品率较大的移相态某频点下序列值为基础,利用协方差与标准差计算皮尔逊相关系数,找出一段与之相关度较高的工艺历史数据序列,从而定位工艺工序.相比于传统的散点图相关性分析法,本文提出的方法具有计算速度快、定位准确、效率高的优点,对于工艺分析具有非常重要的意义.
文献关键词：
半导体;工艺缺陷;皮尔逊相关系数
中图分类号：
作者姓名：
王蒙;梁玉超;顾梅
作者机构：
南京电子器件研究所
文献出处：
引用格式：
[1]王蒙;梁玉超;顾梅-.皮尔逊算法在半导体工艺上的应用)[J].中国集成电路,2022(05):72-75,81
A类：
B类：
半导体工艺,生产制造,制造过程,工艺控制,准确定位,成品率,工艺缺陷,皮尔逊相关系数,定位方法,移相,相态,频点,协方差,相关度,历史数据,数据序列,散点图,相关性分析法,计算速度,定位准确,工艺分析
AB值：
0.399327
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