典型文献
基于连环容许时间区段设备异常的实时调度分析
文献摘要：
阐述半导体生产中,连环许容时间区段某工序设备异常时,实现产品实时调度的管理方法.通过设置产品在各许容时工艺段的品质风险等级,在实时调度中实现对不同区段在制品的风险评估和决策.
文献关键词：
集成电路制造;许容时间;实时调度
中图分类号：
作者姓名：
崔小琳
作者机构：
上海华力集成电路制造有限公司,上海 201314
文献出处：
引用格式：
[1]崔小琳-.基于连环容许时间区段设备异常的实时调度分析)[J].集成电路应用,2022(01):56-57
A类：
许容时间
B类：
于连,连环,容许,区段,设备异常,实时调度,调度分析,常时,置产,风险等级,集成电路制造
AB值：
0.29136
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