典型文献
化合物半导体芯片工艺线的特种气体供应系统探讨
文献摘要：
随着半导体芯片产业对特种气体需求的不断增加,对特种气体安全性和气体纯度的更高要求,对特种气体的不同性质进行了分类和讨论,对化合物半导体芯片工艺线的特种气体系统进行了阐述;并对系统的重要组成单元:特种气体柜/气瓶架、特种气体分配箱/分配盘、特种气体输送管道、尾气处理器和特种气体监控系统的功能和用途进行了探讨.
文献关键词：
工艺线;供应系统;特种气体安全
中图分类号：
作者姓名：
李波;朱延超
作者机构：
北京国联万众半导体科技有限公司,北京 101318;中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051
文献出处：
引用格式：
[1]李波;朱延超-.化合物半导体芯片工艺线的特种气体供应系统探讨)[J].电子工业专用设备,2022(02):1-4,22
A类：
特种气体安全
B类：
化合物半导体,半导体芯片,工艺线,供应系统,芯片产业,气体纯度,成单,气瓶,分配盘,气体输送,输送管道,尾气处理,处理器,监控系统
AB值：
0.24239
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