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热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究
文献摘要：
介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用.阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响.研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系.最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论.
文献关键词：
热场发射电子枪;电子束束流;电子束束斑;电子束光刻机
中图分类号：
作者姓名：
郝晓亮;赵英伟;孙虎;王秀海;曹健;马培圣;任泽生
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
文献出处：
引用格式：
[1]郝晓亮;赵英伟;孙虎;王秀海;曹健;马培圣;任泽生-.热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究)[J].电子技术应用,2022(04):44-47,52
A类：
热场发射电子枪,电子束光刻机,电子束束斑
B类：
调校,校对,光刻工艺,工艺要求,电子束束流
AB值：
0.055587
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