典型文献
集成电路工艺课程的教学实践
文献摘要：
阐述集成电路工艺课程的教学内容,集成电路工艺课程教学对于其他集成电路类课程的作用,包括单晶硅制备流程、光刻工艺的步骤、扩散工艺流程.
文献关键词：
集成电路制造;单晶硅制备;光刻工艺;扩散工艺
中图分类号：
作者姓名：
李严;殷树娟;倪晓明;李涵;吴秋新;邓伟
作者机构：
北京信息科技大学,北京 100192
文献出处：
引用格式：
[1]李严;殷树娟;倪晓明;李涵;吴秋新;邓伟-.集成电路工艺课程的教学实践)[J].集成电路应用,2022(03):20-22
A类：
单晶硅制备
B类：
集成电路工艺,工艺课程,光刻工艺,扩散工艺,集成电路制造
AB值：
0.135372
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