典型文献
超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器
文献摘要：
针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉仪,激光真空波长相对准确度最高达9.6×10-10,位移分辨力为0.077 nm,光学非线性误差最低为13 pm,最大测量速度为5.37m/s.目前该系列仪器已成功应用于我国350 nm至28 nm多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域,为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段.
文献关键词：
光学设计与制造;激光干涉;超精密高速位移测量
中图分类号：
作者姓名：
杨宏兴;付海金;胡鹏程;杨睿韬;邢旭;于亮;常笛;谭久彬
作者机构：
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江哈尔滨150080;哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室,黑龙江哈尔滨150080
文献出处：
引用格式：
[1]杨宏兴;付海金;胡鹏程;杨睿韬;邢旭;于亮;常笛;谭久彬-.超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器)[J].激光与光电子学进展,2022(09):295-309
A类：
超精密高速位移测量
B类：
位移测量技术,微电子,光刻机,高端装备,哈尔滨工业大学,光路,外差,激光干涉测量,激光稳频,光学非线性,非线性误差,分辨力,干涉信号,信号处理,激光干涉仪,长相,对准,pm,37m,成功应用,样机,国光,装备发展,光学设计与制造
AB值：
0.277689
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