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光刻机运动台控制方法研究进展
文献摘要：
光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备,而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑.为了达到光刻机的各项工作指标,高性能的运动台控制方法必不可少.本文针对光刻机运动台的主流控制方法进行了梳理和介绍,首先介绍了运动台的工作原理及基本控制架构,然后从前馈控制、反馈控制、冗余驱动/冗余测量等方面对运动台控制方法进行具体介绍,旨在为光刻机运动台控制方法的进一步发展提供参考.
文献关键词：
光刻机;运动台;前馈控制;反馈控制
中图分类号：
作者姓名：
姜龙滨;丁润泽;丁晨阳;杨晓峰;徐云浪
作者机构：
复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心,上海200433;复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室,上海200433
文献出处：
引用格式：
[1]姜龙滨;丁润泽;丁晨阳;杨晓峰;徐云浪-.光刻机运动台控制方法研究进展)[J].激光与光电子学进展,2022(09):35-47
A类：
B类：
光刻机,机运,运动台,控制方法研究,支撑集,集成电路,芯片制程,关键设备,高加速度,流控制,控制架构,从前,前馈控制,反馈控制,冗余驱动
AB值：
0.249614
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