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亚分辨率辅助图形在0.11μm工艺上的应用
文献摘要：
亚分辨率辅助图形(Sub Resolution Assist Features,SRAF)作为一种常用的分辨率增强技术(Resolution Enhancement Technique,RET),一般被应用于90nm及以下工艺节点.本文通过对SRAF规则(rule)的选择及验证,实现了0.11μm工艺在KrF光刻机上的量产.
文献关键词：
SRAF;工艺窗口;DOF;0.11μm工艺平台
中图分类号：
作者姓名：
张剑;王谨恒;王浩;陈洁;朱斌;曹楠;杨济硕
作者机构：
华润上华科技有限公司;明导电子科技有限公司
文献出处：
引用格式：
[1]张剑;王谨恒;王浩;陈洁;朱斌;曹楠;杨济硕-.亚分辨率辅助图形在0.11μm工艺上的应用)[J].中国集成电路,2022(03):72-74,79
A类：
SRAF
B类：
辅助图形,Sub,Resolution,Assist,Features,分辨率增强技术,Enhancement,Technique,RET,90nm,rule,KrF,光刻机,工艺窗口,DOF
AB值：
0.505739
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