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基于SOPC的检焦图像实时处理系统设计
文献摘要：
针对投影式光刻机检焦系统对图像处理强实时性的需求,以FPGA芯片为载体,设计了一种基于SOPC的检焦图像实时处理系统.首先,使用Microblaze嵌入式软核执行图像处理算法,无需更改硬件架构即可进行系统方案验证和算法调试;然后,采用软硬件协同的方案,将算法移植到FPGA硬件中,实现了检焦流程的加速.FPGA片内通过AXI总线进行软硬件间数据交互,片外通过光纤接口与工件台互连,完成检焦结果的高速上传.实验结果表明,系统运行稳定,完成整个检焦流程需要104μs,软硬件协同实现速度约为软核实现的1 700倍.
文献关键词：
检焦;图像处理;SOPC;Microblaze;软硬件协同;AXI总线
中图分类号：
作者姓名：
赵子豪;骆冬根;路美娜;罗环;赵鑫鑫;雷雪枫
作者机构：
中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所 合肥230031;中国科学技术大学 合肥230026;中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室 合肥230031
文献出处：
引用格式：
[1]赵子豪;骆冬根;路美娜;罗环;赵鑫鑫;雷雪枫-.基于SOPC的检焦图像实时处理系统设计)[J].电子测量技术,2022(09):31-37
A类：
Microblaze
B类：
SOPC,检焦,图像实时处理,实时处理系统,光刻机,FPGA,软核,图像处理算法,更改,硬件架构,系统方案,方案验证,和算,软硬件协同,算法移植,AXI,总线,数据交互,光纤,工件台,互连,运行稳定,个检,核实
AB值：
0.333874
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