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碲锌镉晶片精密抛光效果的影响因素分析
文献摘要：
碲锌镉(CZT,CdZnTe)晶片是生长红外焦平面列阵所用碲镉汞(HgCdTe)薄膜的衬底材料.为了满足碲镉汞液相外延的性能要求,采用化学机械抛光可获得平面度高、粗糙度低、无损伤层的碲锌镉晶片表面.通过对抛光结构的机械运动分析,建立了抛光过程中各参数对工艺指标的影响,通过实验优化工艺参数获得高质量的抛光效果.
文献关键词：
碲锌镉晶体;机械抛光运动;工艺实验设计
中图分类号：
作者姓名：
种宝春;徐品烈;张文斌
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
文献出处：
引用格式：
[1]种宝春;徐品烈;张文斌-.碲锌镉晶片精密抛光效果的影响因素分析)[J].电子工业专用设备,2022(05):24-28
A类：
碲锌镉晶片,汞液,机械运动分析,机械抛光运动,工艺实验设计
B类：
光效,CZT,CdZnTe,红外焦平面,列阵,碲镉汞,HgCdTe,衬底,液相外延,性能要求,化学机械抛光,平面度,粗糙度,无损伤,光过,工艺指标,实验优化,优化工艺,碲锌镉晶体
AB值：
0.328312
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