典型文献
5英寸锑化铟晶片加工及表征
文献摘要：
锑化铟(InSb)材料因其特殊的性质被广泛用于红外光电探测等领域.随着更大面阵中波红外焦平面探测器的发展以及对低成本InSb红外探测器的需求,所需的晶片材料尺寸也日益增加.本文通过采用新结构石墨托以及高精度低损伤单线切割实现了5英寸InSb晶体定向断段;采用低损伤边缘倒角技术同时优化研磨参数改善了5英寸InSb晶片研磨;通过优化贴片工序提高了5英寸InSb晶片抛光后的平整度;通过优化抛光液pH值以及配比提高了5英寸InSb晶片表面质量.同时,使用X射线晶体定向仪、原子力显微镜等测试仪器对5英寸InSb晶片的晶向及偏差、抛光表面宏观质量、几何参数、表面粗糙度、晶格质量进行了测试表征.测试结果表明,采用优化后的加工工艺制备出了高质量的5英寸InSb晶片,能够满足InSb红外探测器制备需求.
文献关键词：
锑化铟;5英寸;晶片;加工;高质量;红外探测器
中图分类号：
作者姓名：
赵超;孔忠弟;董涛;吴卿;折伟林;王小龙;徐鹏艳;李乾;李达;李聪聪
作者机构：
华北光电技术研究所,北京 100015
文献出处：
引用格式：
[1]赵超;孔忠弟;董涛;吴卿;折伟林;王小龙;徐鹏艳;李乾;李达;李聪聪-.5英寸锑化铟晶片加工及表征)[J].人工晶体学报,2022(12):2014-2021
A类：
B类：
英寸,锑化铟,晶片,InSb,光电探测,大面阵,中波红外,红外焦平面探测器,红外探测器,片材,新结构,低损伤,单线,线切割,倒角,同时优化,研磨参数,贴片,平整度,抛光液,表面质量,定向仪,原子力显微镜,测试仪器,晶向,光表,几何参数,表面粗糙度,晶格,测试表征,加工工艺,工艺制备
AB值：
0.304993
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