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水平液相外延设备控制系统研究与设计
文献摘要：
液相外延(LPE)是制备碲镉汞(HgCdTe)薄膜的主流工艺技术,也是HgCdTe红外焦平面器件制造的最关键工序,目前国外发达国家生产的LPE设备已经对我国禁运.为了实现LPE设备的国产替代,我们对设备进行研究,设计了 一套满足高精度温度控制、工艺压力控制、自动拉舟等要求的控制系统,并详细介绍了该控制系统下位机和上位机软件的设计思路,并给出了相关的设计流程图.
文献关键词：
水平液相外延;控制系统;监控软件;温度控制
中图分类号：
作者姓名：
罗臻;林伯奇
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
文献出处：
引用格式：
[1]罗臻;林伯奇-.水平液相外延设备控制系统研究与设计)[J].中国集成电路,2022(09):65-70
A类：
水平液相外延
B类：
外延设备,设备控制,控制系统研究,研究与设计,LPE,碲镉汞,HgCdTe,工艺技术,红外焦平面器件,关键工序,国外发达国家,禁运,国产替代,高精度温度控制,工艺压力,压力控制,下位机,上位机软件,设计流程,流程图,监控软件
AB值：
0.40011
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