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磁流变变间隙动压平坦化加工的工艺及机理
文献摘要：
为提高光电晶片的磁流变抛光效率并实现其超光滑平坦化加工,提出其磁流变变间隙动压平坦化加工方法,研究不同变间隙条件下蓝宝石晶片的材料去除率和表面粗糙度随加工时间的变化,并分析磁流变变间隙动压平坦化加工机理.结果表明:通过蓝宝石晶片对磁流变抛光液施加轴向低频挤压振动,其抛光压力动态变化且磁流变液产生挤压强化效应,使抛光效率与抛光效果显著提升.在工件下压速度为1.0 mm/s,拉升速度为3.5 mm/s,挤压振动幅值为1 mm条件下磁流变变间隙动压平坦化抛光120 min后,蓝宝石晶片的表面粗糙度Ra由6.22 nm下降为0.31 nm,材料去除率为5.52 nm/min,相较于恒定间隙磁流变抛光,其表面粗糙度降低66％,材料去除率提高55％.改变变间隙运动速度可以调控磁流变液的流场特性,且合适的工件下压速度和工件拉升速度有利于提高工件的抛光效率和表面质量.
文献关键词：
磁流变抛光;变间隙动压;平坦化加工;表面粗糙度;材料去除率
中图分类号：
作者姓名：
阎秋生;蔡志航;潘继生;黄蓓;曾自勤
作者机构：
广东工业大学 机电工程学院, 广州 510006
文献出处：
引用格式：
[1]阎秋生;蔡志航;潘继生;黄蓓;曾自勤-.磁流变变间隙动压平坦化加工的工艺及机理)[J].金刚石与磨料磨具工程,2022(04):488-494
A类：
变间隙动压,平坦化加工
B类：
变变,压平,晶片,抛光效率,超光滑,加工方法,蓝宝石,材料去除率,表面粗糙度,加工时间,加工机理,磁流变抛光液,光压,压力动态,磁流变液,挤压强化,工件,下压,拉升,升速,振动幅值,Ra,降为,运动速度,流场特性,表面质量
AB值：
0.168431
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