典型文献
络合剂对316L不锈钢化学机械抛光效果的影响
文献摘要：
为提高316L不锈钢化学机械抛光(chemical-mechanical polishing,CMP)效率,针对络合剂类型对316L不锈钢加工效果的影响及影响机制进行研究.以材料去除率(material removal rate,MRR)和表面粗糙度(Ra)为指标,探究络合剂类型(甘氨酸、草酸和柠檬酸)及浓度对抛光效果的影响.利用电化学工作站、接触角测量仪和X射线光电子能谱仪(XPS)分析络合剂对316L不锈钢CMP加工影响机制.结果表明:当甘氨酸质量分数为0.2％时,能够同时获得较高的材料去除率和较低的Ra,分别为210nm/min和1.613 nm.高浓度的络合剂对316L不锈钢材料去除率的抑制作用来源于络合剂增强了 316L不锈钢表面耐蚀性,降低了表面氧化速度.XPS分析表明部分甘氨酸络合物会吸附于316L不锈钢表面产生缓蚀作用.
文献关键词：
化学机械抛光;316L不锈钢;络合剂;电化学;芬顿反应
中图分类号：
作者姓名：
陈国美;杜春宽;倪自丰;卞达;王浩;章平;张鑫
作者机构：
无锡商业职业技术学院智能装备与汽车工程学院,江苏无锡214153;江南大学机械工程学院,江苏无锡214122
文献出处：
引用格式：
[1]陈国美;杜春宽;倪自丰;卞达;王浩;章平;张鑫-.络合剂对316L不锈钢化学机械抛光效果的影响)[J].金刚石与磨料磨具工程,2022(06):753-759
A类：
B类：
络合剂,316L,钢化,化学机械抛光,光效,chemical,mechanical,polishing,CMP,加工效果,材料去除率,material,removal,rate,MRR,表面粗糙度,Ra,甘氨酸,草酸,柠檬酸,电化学工作站,接触角,测量仪,光电子能谱,能谱仪,XPS,210nm,不锈钢材料,钢表面,耐蚀性,表面氧化,络合物,缓蚀作用,芬顿反应
AB值：
0.280992
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