典型文献
基于数字微镜器件的无光罩技术应用
文献摘要：
阐述数字微镜技术,基于数字微镜器件的光刻机特性,包括降低掩模成本、减小曝光关键尺寸CD,探讨基于数字微镜器件的光刻机技术应用.
文献关键词：
数字微镜器件;掩模板;数字光刻;屏幕编号
中图分类号：
作者姓名：
薛瑞
作者机构：
应用材料(西安)有限公司,西安 710075
文献出处：
引用格式：
[1]薛瑞-.基于数字微镜器件的无光罩技术应用)[J].集成电路应用,2022(10):20-22
A类：
屏幕编号
B类：
数字微镜器件,无光,光罩,光刻机,曝光,关键尺寸,CD,掩模板,数字光刻
AB值：
0.290528
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