典型文献
面向光背板应用的低损耗单模聚合物光波导技术研究
文献摘要：
系统地开展了基于光刻及湿法显影工艺制备的聚合物光波导散射损耗的理论及实验研究.研究了包括粗糙度、波导尺寸和工作波长等主要参数对散射损耗的影响,采用激光共聚焦显微镜测量了光波导侧壁及上下表面的粗糙度.实验结果表明,波导侧壁的平均粗糙度约为60 nm,是上下表面粗糙度的3倍.因此,散射损耗主要由侧壁粗糙引起,其大小是上下表面粗糙引入散射损耗的9倍.基于上述理论及实验结果,通过优化波导设计,制备了工作于1 310 nm波长、平均损耗为0.35 dB/cm的低损耗单模聚合物光波导,其作为高速高密度光背板的关键传输介质具有良好的应用前景.
文献关键词：
光互连;聚合物波导;散射损耗
中图分类号：
作者姓名：
庄语迪;石莹;汤宁峰;魏晓强;何祖源
作者机构：
上海交通大学区域光纤通信网与新型光通值系统国家重点实验室,上海200240;中兴通讯股份有限公司,广东深圳518055;移动网络和移动多媒体技术国家重点实验室,广东深圳518055
文献出处：
引用格式：
[1]庄语迪;石莹;汤宁峰;魏晓强;何祖源-.面向光背板应用的低损耗单模聚合物光波导技术研究)[J].半导体光电,2022(06):1142-1147
A类：
B类：
向光,光背板,低损耗,单模,聚合物光波导,光刻,湿法,法显,显影工艺,工艺制备,散射损耗,主要参数,激光共聚焦显微镜,侧壁,下表面,表面粗糙度,dB,光互连,聚合物波导
AB值：
0.243114
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