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基于压电力显微镜的铌酸锂电畴稳定性研究
文献摘要：
研究了Z切700 nm厚的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜电畴的调控方法.利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对单晶LiNbO3薄膜的晶向和形貌进行了表征,并通过外加电场对单晶LiNbO3薄膜电畴进行调控.研究结果表明,该LiNbO3薄膜具有单一的(006)衍射峰,表面光滑、粗糙度低(均方根粗糙度小于1 nm).通过外加电场和预设电畴图案对LiNbO3电畴进行精准调控,并测试了电畴稳定性.测试结果显示,调控后的电畴在温度为25～150℃内处于稳定状态,且在30 d内保持稳定,未发生弛豫现象.该研究为LiNbO3电畴工程器件的研发和应用提供了重要的技术支撑.
文献关键词：
铌酸锂(LiNbO3);铁电材料;电畴;压电力显微镜(PFM);极化
中图分类号：
作者姓名：
何锦龙;穆继亮;耿文平
作者机构：
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051;中北大学仪器与电子学院,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]何锦龙;穆继亮;耿文平-.基于压电力显微镜的铌酸锂电畴稳定性研究)[J].半导体技术,2022(02):100-104
A类：
压电力显微镜
B类：
铌酸锂,锂电,电畴,稳定性研究,单晶,LiNbO3,调控方法,原子力显微镜,AFM,晶向,外加电场,表面光,粗糙度,图案,精准调控,稳定状态,弛豫,畴工程,程器,铁电材料,PFM
AB值：
0.27877
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