典型文献
开尔文探针力显微镜非线性电学反馈系统设计
文献摘要：
近年来,伴随着二维材料在半导体器件等方面的应用,人们使用开尔文探针力显微镜(KPFM)对二维材料进行了深入研究.尽管KPFM使用越来越广泛,但在KPFM测量二维材料功函数的准确性方面关注较少.该文提出使用一种非线性PI控制器提高KPFM的测量准确性.使用高定向热解石墨(HOPG)作为标准样进行非线性PI控制器系统性能评价,得到系统测量列的单次测量实验标准差为0.38 mV,平均值的实验标准差为0.12 mV,非线性误差为0.26％.衬底为金膜的二维材料MoSe2作为该文的实验测量对象,对比商用KPFM测量系统,基于非线性PI控制器调控的KPFM电学反馈误差电压绝对值的平均值减少了75.5％,误差电压绝对值的最大值减少了80.0％,表现出更高的测量准确性.
文献关键词：
开尔文探针力显微镜;高准确性PI控制器;有限元仿真
中图分类号：
作者姓名：
李新宇;胡晓东;徐临燕;张锐
作者机构：
天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津300072
文献出处：
引用格式：
[1]李新宇;胡晓东;徐临燕;张锐-.开尔文探针力显微镜非线性电学反馈系统设计)[J].自动化与仪表,2022(10):72-76
A类：
B类：
开尔文探针力显微镜,电学,反馈系统,二维材料,半导体器件,KPFM,功函数,出使,测量准确性,热解石墨,HOPG,标准样,控制器系统,系统性能评价,系统测量,测量实验,mV,非线性误差,衬底,MoSe2,实验测量,商用,测量系统,有限元仿真
AB值：
0.315568
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