典型文献
铜线键合二焊点参数正交试验探析
文献摘要：
本文研究了影响二焊点键合力大小的关键因素:超声功率(A)、压力(B)、研磨次数(C)、振幅(D)、频率(E)对二焊点拉力的影响程度,采用正交试验法分析研究,得出各因素影响力大小为D＞B＞A＞E＞C,较优化的工艺方案为"A1B1C1D2E2".得出线性回归模型为Y=12.026-0.012A-0.017B-0.005C-0.174D-0.001E.通过实际验证,理论分析与实际相吻合.以上理论依据为20 μ m铜线键合的二焊点参数应用提供了指导方法.
文献关键词：
铜线键合;二焊点;正交;振幅
中图分类号：
作者姓名：
杨千栋;崔卫兵;宋玉;殷娟
作者机构：
天水华天科技股份有限公司
文献出处：
引用格式：
[1]杨千栋;崔卫兵;宋玉;殷娟-.铜线键合二焊点参数正交试验探析)[J].中国集成电路,2022(05):82-86
A类：
铜线键合,二焊点,A1B1C1D2E2,012A,017B,005C,174D,001E
B类：
点参,超声功率,研磨,拉力,正交试验法,工艺方案,出线,线性回归模型,相吻合,指导方法
AB值：
0.131248
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
