典型文献
优化关键工艺参数提升功率器件引线键合的可靠性
文献摘要：
探究了引线键合工艺的重要参数对功率器件键合可靠性的影响机制,进而优化超声引线键合工艺参数.采用单参数变化实验设计方法,改变超声功率、键合压力、键合时间等关键参数制备芯片,利用拉断力测试方法表征引线键合的质量,研究工艺参数与键合质量的映射关系,分析其影响机理;进一步利用正交实验得到引线键合关键工艺参数的优化配方.实验结果表明,当超声功率210 mW、键合时间80 ms和键合压力3.4 N时,可得到较好的键合可靠性和数据收敛性.而且,参数中超声功率对键合可靠性的影响最大,键合压力次之,而键合时间的影响不显著.
文献关键词：
引线键合;功率器件;可靠性;拉断力测试;工艺参数优化
中图分类号：
作者姓名：
聂洪林;陈佳荣;任万春;郭林;蔡少峰;李科;陈凤甫;蒲俊德
作者机构：
西南科技大学信息工程学院,四川绵阳,621000;四川立泰电子有限公司,四川遂宁,629019
文献出处：
引用格式：
[1]聂洪林;陈佳荣;任万春;郭林;蔡少峰;李科;陈凤甫;蒲俊德-.优化关键工艺参数提升功率器件引线键合的可靠性)[J].电子测试,2022(19):43-47
A类：
B类：
关键工艺参数,功率器件,引线键合,重要参数,单参数,参数变化,化实验,实验设计,超声功率,数制,拉断力测试,征引,键合质量,映射关系,正交实验,优化配方,mW,ms,收敛性,中超,工艺参数优化
AB值：
0.247068
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