典型文献
缓存区工位和调度系统在CMP设备中的应用
文献摘要：
介绍了一种半导体专用设备用的缓存装置及其调度方法,此调度方法适用于晶圆的多种工艺加工过程,针对设备在晶圆传输过程中遇到模块故障或者模块超时问题,合理的启用缓存区工位将有受损风险的晶圆收纳到缓存区,并在故障消除后将晶圆恢复至正常工艺流程的方法.该系统方法最大限度地保护晶圆的安全,同时也为快速恢复正常加工提供了保障.
文献关键词：
化学机械平坦化(CMP)设备;缓存区;调度流程
中图分类号：
作者姓名：
田洪涛;王嘉琪;刘志伟;吴燕林
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176
文献出处：
引用格式：
[1]田洪涛;王嘉琪;刘志伟;吴燕林-.缓存区工位和调度系统在CMP设备中的应用)[J].电子工业专用设备,2022(05):53-55
A类：
B类：
缓存区,工位,调度系统,CMP,体专,专用设备,备用,调度方法,晶圆,工艺加工,加工过程,输过,模块故障,超时,启用,收纳,故障消除,消除后,至正,系统方法,快速恢复,化学机械平坦化,调度流程
AB值：
0.447273
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