典型文献
晶圆制造设备的行业状况与发展策略
文献摘要：
阐述晶圆制造设备与半导体设备行业的发展,探讨中国晶圆制造设备行业的现状,面临困局与问题,提出应对的破局之策.
文献关键词：
晶圆制造;半导体设备;行业现状
中图分类号：
作者姓名：
张晴晴
作者机构：
北京市电子科技情报研究所,北京 100009
文献出处：
引用格式：
[1]张晴晴-.晶圆制造设备的行业状况与发展策略)[J].集成电路应用,2022(04):28-29
A类：
B类：
晶圆制造,制造设备,行业状况,半导体设备,面临困局,破局,行业现状
AB值：
0.317122
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
