典型文献
一种高效监测工艺制程的电路设计
文献摘要：
随着摩尔定律的发展,集成电路中的晶体管及其互联金属尺寸逐渐减小.为实现这些纳米级尺寸结构,就需要更复杂的工艺制程,但随之而来的是芯片中缺陷的增加和良率的下降.为解决这一问题,作者设计一种高效的用于监测后道工艺制程的电路,可以同时监测大量样品,并准确发现有缺陷的结构.相较于传统的两端法测试方法,作者提出的电路和相应测试方法在相同面积情况下可以多放36％的测试样品,测试同等数量样品可以节省近70％的总测试时间,并通过投片验证.本文的设计有助于快速发现工艺中的缺陷并进行优化迭代,最终提升晶圆厂良率,提高产品竞争力.
文献关键词：
测试电路;后道工艺;工艺监控;良率
中图分类号：
作者姓名：
郁扬
作者机构：
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
文献出处：
引用格式：
[1]郁扬-.一种高效监测工艺制程的电路设计)[J].中国集成电路,2022(06):60-64
A类：
B类：
制程,电路设计,摩尔定律,集成电路,晶体管,管及,纳米级,随之而来,良率,后道工艺,现有缺陷,测试样品,测试时间,优化迭代,晶圆厂,产品竞争力,测试电路,工艺监控
AB值：
0.438301
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