典型文献
金属结合剂金刚石砂轮表面微槽的激光修整技术
文献摘要：
针对金属结合剂金刚石砂轮表面微槽修整困难的问题,采用红外纳秒激光器开展修整试验,探究激光功率、脉冲重复频率、激光烧蚀时间等因素对其材料去除的影响规律,并对U型和V型2种砂轮微槽提出梯度步进激光修整工艺.结果表明:修整后的砂轮微槽实际轮廓与设计轮廓对比,其顶部和底部实际宽度相对误差的绝对值最大为4.4％,实际深度相对误差的绝对值最大为9.6％.用修整后的砂轮V型微槽对直径为4英寸(10.16 cm)的蓝宝石晶圆边缘进行倒角,晶圆锐利的边缘被修整成规则形状,边缘轮廓对称度良好,且与激光修整后砂轮表面的微槽轮廓一致,验证了金属结合剂金刚石砂轮表面微槽激光成型修整的可行性.
文献关键词：
激光加工;金属结合剂金刚石砂轮;微槽修整;晶圆边缘磨削
中图分类号：
作者姓名：
郭泫洋;徐钰淳;曹剑锋;朱建辉;赵延军;赵金伟;师超钰
作者机构：
超硬材料磨具国家重点实验室, 郑州 450001;郑州磨料磨具磨削研究所有限公司, 郑州 450001
文献出处：
引用格式：
[1]郭泫洋;徐钰淳;曹剑锋;朱建辉;赵延军;赵金伟;师超钰-.金属结合剂金刚石砂轮表面微槽的激光修整技术)[J].金刚石与磨料磨具工程,2022(03):364-372
A类：
金属结合剂金刚石砂轮,激光修整,微槽修整,晶圆边缘磨削
B类：
纳秒激光,激光器,激光功率,脉冲重复频率,激光烧蚀,材料去除,英寸,蓝宝石,倒角,锐利,整成,成规,边缘轮廓,对称度,槽轮,激光成型,激光加工
AB值：
0.148175
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