典型文献
SiC功率器件制造中的湿法工艺设备研究
文献摘要：
简述了SiC功率器件制造工艺流程,对常用的抛光片清洗、RCA清洗、SPM湿法去胶、有机去胶、SiO2腐蚀、金属腐蚀和金属剥离等湿法设备进行了应用研究,对于提升SiC功率器件成品率起着重要的作用.
文献关键词：
SiC功率器件;抛光片清洗;有机去胶;金属湿法腐蚀;金属剥离
中图分类号：
作者姓名：
宋文超;贾祥晨;李家明;王洪建;刘广杰
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
文献出处：
引用格式：
[1]宋文超;贾祥晨;李家明;王洪建;刘广杰-.SiC功率器件制造中的湿法工艺设备研究)[J].电子工业专用设备,2022(04):48-52
A类：
抛光片清洗,湿法去胶,有机去胶,湿法设备,金属湿法腐蚀
B类：
SiC,功率器件,湿法工艺,工艺设备,制造工艺,RCA,SPM,SiO2,金属腐蚀,金属剥离,成品率
AB值：
0.19765
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