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集成电路制造工艺的质量管理分析
文献摘要：
阐述集成电路制造工艺技术,包括微细加工技术、电路互联技术、集成电路后道制造工艺技术,探讨集成电路制造工艺质量管理中的问题和应对措施.
文献关键词：
集成电路;制造工艺;质量管理
中图分类号：
作者姓名：
王柱
作者机构：
浙江大学,浙江 310058
文献出处：
引用格式：
[1]王柱-.集成电路制造工艺的质量管理分析)[J].集成电路应用,2022(06):38-40
A类：
B类：
集成电路制造,制造工艺,管理分析,工艺技术,微细加工,加工技术,工艺质量
AB值：
0.208227
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