典型文献
一种硅微谐振式加速度计频率读出方法与ASIC实现
文献摘要：
针对硅微谐振式加速度计(SRA),提出了 一种低噪声、低功耗、可集成的频率读出电路.频率读出电路主要基于Σ-Δ原理,实现了对量化噪声的调制与抑制,在0.1 Hz频率下实现了 0.1mHz/√Hz的频率测量水平.同时,专用集成电路(ASIC)实现了对加速度测量中频率非线性的补偿,实现了在质量块正弦调制谐振梁情况下频率的零均值变化,解决了冲击和振动环境中非线性导致的加速度偏移问题.最后,ASIC以0.35 μm CMOS工艺实现,并与前端模拟振荡电路集成,构成了完整的SRA单芯片测控系统.
文献关键词：
硅微谐振式加速度计(SRA);频率读出;专用集成电路(ASIC);低噪声;零均值
中图分类号：
作者姓名：
赵广胜;夏国明;裘安萍;施芹;赵阳
作者机构：
南京理工大学机械工程学院,南京 210094
文献出处：
引用格式：
[1]赵广胜;夏国明;裘安萍;施芹;赵阳-.一种硅微谐振式加速度计频率读出方法与ASIC实现)[J].半导体技术,2022(04):307-312,331
A类：
硅微谐振式加速度计,频率读出,1mHz
B类：
ASIC,SRA,低噪声,低功耗,读出电路,量化噪声,频率测量,专用集成电路,加速度测量,中频,质量块,正弦,零均值,振动环境,CMOS,振荡电路,单芯片,测控系统
AB值：
0.228131
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