典型文献
自溯源光栅标准物质及其应用
文献摘要：
纳米计量技术是纳米尺度上的精密测量技术,是先进纳米制造技术的基础.其中,溯源性是纳米计量的基础问题,而研制纳米计量标准物质是实现纳米测量溯源性传递、保证纳米几何量值测试的统一性和准确性的关键环节.为适应纳米计量扁平化量值传递溯源的要求,基于铬跃迁频率,采用原子光刻技术和软X射线干涉技术制备了1D 212.8 nm,2D 212.8 nm,1D 106.4 nm 3种自溯源光栅标准物质;在多层膜沉积技术研制硅纳米线宽结构的基础上,探索了基于硅晶格常数的硅纳米线宽自溯源型测量方法.在应用领域,开展了自溯源光栅对扫描探针显微镜、扫描电子显微镜等高精密测量仪器的校准研究.研究结果表明,自溯源型标准物质及其测量方法缩短了精密仪器和加工技术过程中的纳米长度计量溯源链,是先进纳米制造和新一代信息技术的有力支撑.
文献关键词：
纳米科技;纳米计量;自溯源标准物质;原子光刻技术;软X射线干涉光刻技术;多层膜沉积技术
中图分类号：
作者姓名：
邓晓;李同保;程鑫彬
作者机构：
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
文献出处：
引用格式：
[1]邓晓;李同保;程鑫彬-.自溯源光栅标准物质及其应用)[J].光学精密工程,2022(21):2608-2625
A类：
纳米计量,原子光刻技术,多层膜沉积,多层膜沉积技术,自溯源标准物质,干涉光刻
B类：
计量技术,纳米尺度,精密测量技术,纳米制造,制造技术,溯源性,基础问题,计量标准,纳米测量,几何量,统一性,应纳,扁平化,量值传递,跃迁,干涉技术,1D,2D,硅纳米线,纳米线宽,硅晶格常数,光栅对,扫描探针,高精密测量,测量仪器,精密仪器,加工技术,技术过程,计量溯源,溯源链,新一代信息技术,纳米科技
AB值：
0.27891
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