典型文献
基于等离子体处理的微纳复合结构制备及其OLED光提取性能研究
文献摘要：
通过光刻工艺和热熔法,制备了形貌均匀、尺寸可控的微透镜阵列,通过反应离子刻蚀技术制备用于改善光提取性能的纳米光栅结构,成功制备出高效光提取的微透镜/纳米光栅组合的微纳复合结构.研究了等离子体处理对纳米光栅形貌的影响规律、纳米光栅的形成机理以及微透镜/纳米光栅微纳复合结构光提取性能.实验结果表明,通过改变等离子体处理工艺条件,可实现纳米光栅周期与深度的调控,从而得到不同尺寸的微透镜/纳米光栅复合结构.当微透镜高度约为19.6μm,纳米光栅尺寸约为周期600±50 nm、深度20±5 nm时,微透镜/纳米光栅微纳复合结构可以在不改变绿光有机电致发光二极管器件电学特性的前提下,有效提高有机电致发光二极管器件的外量子效率,比单纯的有机电致发光二极管器件提高33％.
文献关键词：
有机电致发光二极管;微纳复合结构;光提取效率;纳米光栅;微透镜阵列;等离子体处理
中图分类号：
作者姓名：
洪德铭;陈桂雄;王文雯;赵金威;周雄图;张永爱;吴朝兴;郭太良
作者机构：
福州大学 物理与信息工程学院,福州 350116;福州大学 先进制造学院,福建 泉州 362200;中国福建光电信息科学与技术创新实验室,福州 350116
文献出处：
引用格式：
[1]洪德铭;陈桂雄;王文雯;赵金威;周雄图;张永爱;吴朝兴;郭太良-.基于等离子体处理的微纳复合结构制备及其OLED光提取性能研究)[J].光子学报,2022(05):226-234
A类：
B类：
等离子体处理,微纳复合结构,OLED,光刻工艺,热熔法,尺寸可控,微透镜阵列,离子刻蚀,刻蚀技术,备用,纳米光栅,光栅结构,形成机理,结构光,处理工艺,工艺条件,不同尺寸,光栅尺,变绿,绿光,有机电致发光二极管,电学特性,外量子效率,光提取效率
AB值：
0.196506
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