典型文献
飞秒激光单体素加工连续渐变微纳针形结构研究(特邀)
文献摘要：
针对目前微纳针形结构加工中存在的精度、形貌、可控性等问题,基于飞秒激光双光子加工系统中的单个体素,通过引入一维倾角自动调控体素的空间位置,提出了一种简单高效的加工连续渐变微纳针形结构的方法.通过开展加工实验,成功地在光刻胶材料中加工出了一系列长度可控、形貌连续渐变的微纳针形结构.实验结果表明:基于本方法加工的微纳针形结构,其高度呈线性变化关系且针尖形貌渐变精度达到了纳米量级,结构横向线宽渐变连续且沿中轴线呈对称分布;针形结构顶端最小高度达到5 nm,横向最小线宽为195 nm.其在功能表面、微纳流控、生物传感等研究领域具有潜在的应用价值.
文献关键词：
飞秒激光;单体素;双光子聚合;连续渐变;微纳针形结构
中图分类号：
作者姓名：
张琛;侯嘉庆;蔺家琪;李凯;范连斌;张策;王凯歌;白晋涛
作者机构：
西北大学 物理学院 光子学与光子技术研究所 省部共建西部能源光子技术国家重点实验室,西安 710127;中核四〇四有限公司,甘肃 嘉峪关 735100
文献出处：
引用格式：
[1]张琛;侯嘉庆;蔺家琪;李凯;范连斌;张策;王凯歌;白晋涛-.飞秒激光单体素加工连续渐变微纳针形结构研究(特邀))[J].光子学报,2022(10):1-9
A类：
微纳针形结构
B类：
飞秒激光,单体素,连续渐变,结构研究,特邀,可控性,加工系统,自动调控,空间位置,光刻胶,线性变化,变化关系,针尖,变精度,线宽,中轴线,对称分布,顶端,功能表面,纳流控,生物传感,双光子聚合
AB值：
0.321654
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