典型文献
阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术
文献摘要：
共相光栅拼接技术是目前研制米级大尺寸阶梯光栅的重要手段,位移误差调整精度对光栅的拼接精度有决定性影响.为消除拼接光栅中的周期性位移误差,实现大尺寸阶梯光栅的共相拼接,从理论出发分析了位移误差对拼接光栅点扩散函数的具体影响,并基于干涉测量原理,提出了一种基于迈克耳孙干涉系统,利用白光和双波长测量技术相结合的光栅拼接位移误差检测调整方法.通过对比不同调整量下干涉条纹位移变化的模拟计算结果与纳米位移平台实验结果,分析了傅里叶分析算法的计算精度,进而实现了位移误差的精确调整.实验计算结果表明,白光双波长测量技术实现的拼接光栅位移误差Δz小于6 nm,可满足大尺寸拼接光栅的共相检测要求.
文献关键词：
测量;拼接光栅;共相调整;纵向位移误差;调整精度
中图分类号：
作者姓名：
王瑞;韩建;肖东;叶慧琪;唐靓;郝俊;翟洋;郝志博
作者机构：
中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,江苏南京210042;中国科学院天文光学技术重点实验室,江苏南京210042;中国科学院大学,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]王瑞;韩建;肖东;叶慧琪;唐靓;郝俊;翟洋;郝志博-.阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术)[J].光学学报,2022(18):111-119
A类：
纵向位移误差,拼接光栅,共相调整
B类：
精确调整,拼接技术,大尺寸,误差调整,调整精度,决定性影响,点扩散函数,具体影响,干涉测量,测量原理,迈克耳孙干涉,干涉系统,白光,双波长,波长测量,测量技术,技术相结合,误差检测,测调,调整方法,同调,干涉条纹,位移变化,傅里叶分析,计算精度,共相检测,检测要求
AB值：
0.262133
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