典型文献
亚50 nm台阶高度标准物质的可控制备及定值研究
文献摘要：
纳米台阶高度标准物质可以传递准确、可溯源的纳米高度量值.针对我国缺乏可控的高质量亚50 nm台阶高度标准物质制备技术的问题,提出了基于原子层沉积结合湿法刻蚀的纳米台阶高度标准物质研制方法,通过工艺过程优化实现了台阶高度亚纳米量级精确可控,制备出了最小公称高度仅为5 nm的亚50 nm台阶高度标准物质系列.其定值结果可溯源到米定义波长基准,扩展不确定度不超过2.0 nm,均匀性和稳定性较好,不同测试仪器一致性水平较高.研究结果表明,所研制的纳米台阶高度标准物质可以用于亚50 nm高度量值传递以及多种测量仪器之间量值的比对测量,其产业化批量生产的前景也将为半导体产业提供完善的计量保障.
文献关键词：
台阶高度标准物质;亚50 nm;原子层沉积技术(ALD);计量学
中图分类号：
作者姓名：
张雅馨;王琛英;景蔚萱;施玉书;蒋庄德
作者机构：
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安 710049;西安交通大学高端制造装备协同创新中心西安 710049;中国计量科学研究院 北京 100029
文献出处：
引用格式：
[1]张雅馨;王琛英;景蔚萱;施玉书;蒋庄德-.亚50 nm台阶高度标准物质的可控制备及定值研究)[J].仪器仪表学报,2022(11):86-93
A类：
台阶高度标准物质
B类：
可控制备,定值研究,可溯源,制备技术,原子层沉积,湿法刻蚀,工艺过程,过程优化,优化实现,亚纳,公称,扩展不确定度,测试仪器,量值传递,测量仪器,间量,批量生产,半导体产业,计量保障,沉积技术,ALD
AB值：
0.265335
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