典型文献
极紫外同步辐射光表征离子束诱导的纳米波纹
文献摘要：
离子轰击固体表面诱导的纳米结构具有小周期(10～100nmn)、大面积、准周期的特点.利用氨离子轰击在减反膜上制备出横向特征尺寸在100 nm附近、横向周期性与纵向连续性逐步明显的准周期纳米波纹结构.为了增大表征面积,利用极紫外散射法表征了上述自组织纳米波纹的形貌特征.结果显示,面内和锥角模式的极紫外散射法所获得的样品横向和纵向形貌特征,均能够与原子力扫描显微镜所获得的样品形貌特征相对应,这初步说明了此方法表征准周期纳米波纹结构基本形貌特征的可行性,为后续的定量分析提供基础.同时,利用极紫外同步辐射光表征的自组织纳米结构面积达到了 mm2量级,将合肥光源计量光束线的表征范围拓展到自组织纳米结构,这也为未来探索极紫外光刻掩模的散射表征等研究提供参考.
文献关键词：
极紫外;散射测量;同步辐射;离子轰击;自组织纳米结构;准周期
中图分类号：
作者姓名：
李金昱;杨高元;臧昊峰;陈火耀;霍同林;周洪军;鲁拥华;刘颖;洪义麟;付绍军
作者机构：
中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥230029;中国科学技术大学光学与光学工程系,安徽合肥230026
文献出处：
引用格式：
[1]李金昱;杨高元;臧昊峰;陈火耀;霍同林;周洪军;鲁拥华;刘颖;洪义麟;付绍军-.极紫外同步辐射光表征离子束诱导的纳米波纹)[J].光学学报,2022(19):210-214
A类：
100nmn,自组织纳米结构
B类：
同步辐射光,光表,离子束,米波,离子轰击,小周期,准周期,氨离子,减反膜,特征尺寸,波纹结构,表征面,射法,形貌特征,锥角,原子力,扫描显微镜,基本形,结构面,mm2,合肥光源,光束线,极紫外光刻,掩模,射表,散射测量
AB值：
0.276626
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
