典型文献
SiC基底HFCVD金刚石薄膜摩擦磨损性能
文献摘要：
利用热丝化学气相沉积技术在碳化硅基底上制备微米金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜和金刚石–石墨复合薄膜,采用扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪对不同金刚石薄膜的表面形貌和微观结构进行表征,通过摩擦磨损实验测试金刚石薄膜的摩擦系数并计算其磨损率,对比研究不同种类金刚石薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:金刚石–石墨复合薄膜具有较好的摩擦磨损性能,薄膜表面粗糙度为53.8 nm,摩擦系数为0.040,和纳米金刚石薄膜(0.037)相当;金刚石–石墨复合薄膜的磨损率最低,为2.07×10?7 mm3·N?1·m?1.在相同实验条件下,同碳化硅基底的磨损率(9.89×10?5 mm3·N?1·m?1)和摩擦系数(0.580)相比,所有金刚石薄膜的磨损率和摩擦系数均有明显提升,说明在SiC基体表面沉积金刚石薄膜能够显著提高碳化硅材料在摩擦学领域的使役性能.
文献关键词：
金刚石薄膜;碳化硅;石墨;摩擦磨损;化学气相沉积
中图分类号：
作者姓名：
王贺;沈建辉;刘鲁生;闫广宇;吴玉厚;熊家骥;DANIEL Cristea
作者机构：
现代建筑工程装备与技术国际合作联合实验室,沈阳 110168;沈阳建筑大学 机械工程学院,沈阳 110168;中国科学院金属研究所,沈阳材料科学国家研究中心,沈阳 110016;布拉索夫特兰西瓦尼亚大学 材料科学与工程学院,布拉索夫 500036,罗马尼亚
文献出处：
引用格式：
[1]王贺;沈建辉;刘鲁生;闫广宇;吴玉厚;熊家骥;DANIEL Cristea-.SiC基底HFCVD金刚石薄膜摩擦磨损性能)[J].金刚石与磨料磨具工程,2022(03):283-289
A类：
B类：
SiC,HFCVD,摩擦磨损性能,热丝化学气相沉积,沉积技术,硅基底,微米,纳米金刚石薄膜,复合薄膜,原子力显微镜,拉曼光谱,光谱仪,表面形貌,磨损实验,实验测试,摩擦系数,磨损率,类金刚石薄膜,表面粗糙度,mm3,实验条件,积金,高碳,碳化硅材料,摩擦学,使役
AB值：
0.172012
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