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"真空紫外与X射线光学"专题前言
文献摘要：
真空紫外到X射线是电磁波谱中波长比较短的部分,包含真空紫外、远紫外、极紫外、软X射线和硬X射线.这一波段的光波长短、能量大,按照锐利判据,由其构成的光学系统可以实现更精细的聚焦和成像.工作波长为13.5 nm的极紫外光刻已成为生产10 nm以下线宽集成电路的主流生产手段,推动了半导体行业的持续进步.基于X射线的聚焦成像系统已能获得几纳米的分辨率,实现了物质微观结构的精密观测.同时,这一波段的光子能量范围覆盖了几乎所有元素的价电子和芯能级轨道,具有精确分辨材料成分、价态和局域电子结构的能力.
文献关键词：
中图分类号：
作者姓名：
王占山;王峰;江怀东;黄秋实
作者机构：
文献出处：
引用格式：
[1]王占山;王峰;江怀东;黄秋实-."真空紫外与X射线光学"专题前言)[J].光学学报,2022(11):1-2
A类：
B类：
真空紫外,前言,电磁波,波谱,中波长,远紫外,波段,光波长,锐利,判据,光学系统,极紫外光刻,下线,线宽,集成电路,半导体行业,聚焦成像,成像系统,光子能量,价电子,能级,材料成分,价态,局域,电子结构
AB值：
0.428674
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