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推挽式MEMS谐振加速度计的实现与测试
文献摘要：
针对推挽式微电子机械系统(MEMS)谐振加速度计的结构分析了其工作原理,进行了工艺上的加工,并对加工中可能出现的问题进行了优化.依据推挽式MEMS谐振加速度计的结构尺寸以及测量精度需求,设计了符合要求的测控电路系统,包括了基于自激振荡的闭环驱动电路和等精度测频的频率检测电路.最后完成样机整表测试,结果表明:推挽式MEMS谐振加速度计的两个谐振器谐振频率分别为21.443和21.455 kHz,品质因数分别为3 063和3 065.在±1g的范围内,标度因数和标度因数重复性分别为204.42 Hz/g和3.11×10-5,零加速度样机频差为-12.91 Hz/g,零偏和零偏稳定性为0.06g和0.008 01g.
文献关键词：
微电子机械系统(MEMS);加速度计;谐振器;推挽式;深硅-玻璃干法刻蚀(DDSOG);自激振荡
中图分类号：
作者姓名：
都捷豪;石云波;李飞;石亦琨;曹慧亮;赵锐
作者机构：
中北大学仪器与电子学院电子测试技术重点实验室,太原 030051;上海卫星装备研究所,上海 200240;北京星途探索科技有限公司,北京 100023
文献出处：
引用格式：
[1]都捷豪;石云波;李飞;石亦琨;曹慧亮;赵锐-.推挽式MEMS谐振加速度计的实现与测试)[J].微纳电子技术,2022(09):929-935
A类：
DDSOG
B类：
推挽式,MEMS,加速度计,实现与测试,式微,微电子机械系统,结构尺寸,测量精度,符合要求,测控电路,电路系统,自激振荡,闭环驱动,驱动电路,等精度,测频,频率检测,检测电路,样机,谐振器,谐振频率,kHz,品质因数,标度因数,因数和,数重,频差,零偏稳定性,06g,01g,干法刻蚀
AB值：
0.32733
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