典型文献
推挽式谐振加速度传感器设计及仿真研究
文献摘要：
设计了一种基于微杠杆原理的推挽式高精度、高灵敏度的硅微谐振加速度传感器.采用微杠杆放大结构,并通过单连接梁推挽谐振器实现力放大和差分输出,具有结构对称,尺寸易于加工的特点.通过设计结构、优化尺寸,并进行模态分析、静力分析和谐响应分析来完成整个结构的设计与仿真研究.结果表明:加速度计工作谐振频率分别为21.708 kHz和21.715 kHz.在±5 gn的设计量程内对结构进行了灵敏度分析.仿真结果表示,其敏感轴的灵敏度为280 Hz/gn,非敏感轴的横向灵敏度为0.4 Hz/gn和0.1 Hz/gn.最后搭建自激振荡的闭环驱动模型,验证了结构在闭环系统下的可行性.
文献关键词：
硅微谐振式加速度计;差分输出;有限元分析;结构设计;高灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
都捷豪;石云波;李飞;赵锐;曹慧亮;刘翔天
作者机构：
中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]都捷豪;石云波;李飞;赵锐;曹慧亮;刘翔天-.推挽式谐振加速度传感器设计及仿真研究)[J].传感器与微系统,2022(01):28-31,36
A类：
硅微谐振式加速度计
B类：
推挽式,加速度传感器,传感器设计,仿真研究,杠杆原理,高灵敏度,杠杆放大,谐振器,差分输出,设计结构,模态分析,静力分析,谐响应分析,设计与仿真,谐振频率,kHz,gn,量程,灵敏度分析,横向灵敏度,自激振荡,闭环驱动,驱动模型,闭环系统
AB值：
0.298657
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