典型文献
基于纳米光栅泰伯效应的三轴加速度计仿真设计
文献摘要：
基于纳米光栅近场泰伯自成像效应,提出一种双层光栅透射检测式的单片集成三轴微加速度计的设计方案,利用双层光栅的面内运动和离面运动分别对x,y,z轴加速度分别进行检测.通过对加速度计结构和双层纳米光栅结构尺寸分别进行仿真设计,并计算结构灵敏度和光学效应灵敏度的大小,完成了器件的优化设计与仿真研究.仿真结果表明:单片三轴微加速度计的面内检测灵敏度为1.67μm/gn,离面检测灵敏度为1.41μm/gn,结合纳米光栅光学效应的优化仿真,最终实现面内x,y轴加速度计灵敏度为0.038V/gn,离面z轴加速度计灵敏度为0.406V/gn.
文献关键词：
纳米光栅;泰伯效应;微加速度计;三轴单片集成
中图分类号：
作者姓名：
靳黎明;王策;金丽;辛晨光;李孟委
作者机构：
中北大学仪器与电子学院,山西太原030051;中北大学南通智能光机电研究院,江苏南通226000;中北大学前沿交叉科学研究院,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]靳黎明;王策;金丽;辛晨光;李孟委-.基于纳米光栅泰伯效应的三轴加速度计仿真设计)[J].传感器与微系统,2022(05):76-79
A类：
泰伯效应,自成像,双层光栅,微加速度计,038V,406V,三轴单片集成
B类：
纳米光栅,三轴加速度计,仿真设计,近场,光栅结构,结构尺寸,计算结构,设计与仿真,仿真研究,内检测,检测灵敏度,gn,优化仿真
AB值：
0.139816
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
