典型文献
抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计
文献摘要：
为了解决纳米光栅加速度计交叉轴干扰的问题,提出了一种原理可行、工艺可行的加速度计结构设计及加工方法.首先,介绍了双光栅加速度计的工作原理及结构组成,通过Ansys结构仿真和COMSOL双光栅仿真,验证了交叉轴干扰对双光栅离面加速度计性能测试不可忽略的影响.其次,提出了一种抗交叉轴干扰、且工艺简单的加速度计结构.仿真结果表明:该结构能有效避免交叉轴干扰,且具有较高的结构灵敏度.最后,基于SOI片对双光栅离面加速度计的加工方案进行完整描述,验证了这种加速度计加工方法的可行性及易操作性,为抗交叉轴干扰的离面加速度计设计和制作提供了思路.
文献关键词：
加速度计;纳米光栅;交叉轴干扰;结构设计;工艺加工
中图分类号：
作者姓名：
宫美梅;王策;金丽;辛晨光;李孟委
作者机构：
中北大学信息与通信工程学院,山西太原030051;中北大学前沿交叉科学研究院,山西太原030051;中北大学仪器与电子学院,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]宫美梅;王策;金丽;辛晨光;李孟委-.抑制交叉轴干扰的纳米光栅加速度计)[J].传感器与微系统,2022(03):20-23,31
A类：
交叉轴干扰
B类：
纳米光栅,加速度计,加工方法,结构组成,Ansys,结构仿真,COMSOL,光栅仿真,免交,SOI,加工方案,工艺加工
AB值：
0.181655
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