典型文献
液体低流速测量热分布式微纳传感器制造与测试
文献摘要：
面向液体低流速测量应用需求,基于介质热传递工作原理,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布式流速传感器,加热和测温元件均采用铂电阻,传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距为0.8 mm,完成了芯片的封装及测试.通过实验测试,在室温条件下,传感器加热电阻为108.8Ω,测温电阻为525.2Ω,且测温电阻具有良好的温度—阻值线性度(R2≥0.9999),传感器适用量程为0～90 mm/s,在极低流速0～20 mm/s范围测试,有较好的输出曲线关系,最高灵敏度达到0.06mV/(mm·s-1),且有较好的稳定性能.传感器具有尺寸小、成本低、可批量制造,将为液体流速测量领域提供核心传感器.
文献关键词：
低流速测量;热分布式;微纳传感器;铂电阻阵列
中图分类号：
作者姓名：
车啸婷;王振宇;管轶华;郜晚蕾;金庆辉
作者机构：
宁波大学信息科学与工程学院,浙江宁波315211
文献出处：
引用格式：
[1]车啸婷;王振宇;管轶华;郜晚蕾;金庆辉-.液体低流速测量热分布式微纳传感器制造与测试)[J].传感器与微系统,2022(04):73-76
A类：
低流速测量,热分布式,微纳传感器,06mV,铂电阻阵列
B类：
式微,测量应用,应用需求,基于介质,热传递,微电子机械系统,MEMS,加工技术,衬底,流速传感器,测温元件,芯片尺寸,热电阻,封装,实验测试,阻值,线性度,量程,曲线关系,高灵敏度,稳定性能,液体流速,心传
AB值：
0.236297
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