典型文献
高g值压阻式加速度传感器仿真设计
文献摘要：
利用硅微材料的压阻效应,结合微机电系统(MEMS)加工技术,设计一种高g值压阻式加速度传感器结构,主要应用于爆炸、冲击测试以及引信侵彻等特殊领域.采用参数分析,确定了传感器的三维模型,提取敏感梁的表面路径,分析总结其应力分布规律,据此确定压敏电阻位置,并设计能单独测量且抗交叉干扰的测量电路.最后通过有限元对传感器敏感结构进行仿真分析,仿真结果表明:该加速度计水平面内其X方向灵敏度为4.37μV/gn,Y方向灵敏度为4.44μV/gn,一阶固有频率为105.80 kHz,量程可达到15×104 gn.
文献关键词：
加速度传感器;压阻式;高g值;灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
杨雨君;王鹏;陈曼龙;张昌明;杨帆;陈芳芳
作者机构：
陕西理工大学机械工程学院,陕西汉中723000
文献出处：
引用格式：
[1]杨雨君;王鹏;陈曼龙;张昌明;杨帆;陈芳芳-.高g值压阻式加速度传感器仿真设计)[J].传感器与微系统,2022(06):78-81,85
A类：
B类：
压阻式加速度传感器,传感器仿真,仿真设计,压阻效应,微机电系统,MEMS,加工技术,传感器结构,主要应用,冲击测试,试以,引信,侵彻,特殊领域,参数分析,应力分布规律,定压,压敏电阻,交叉干扰,测量电路,加速度计,水平面,gn,一阶固有频率,kHz,量程
AB值：
0.397821
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