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动热源摆式双轴MEMS热加速度计敏感机理的研究
文献摘要：
揭示了一种动热源摆式双轴MEMS热加速度计的敏感机理.在给出双轴敏感原理的基础上,通过建立二维物理研究模型、网格划分、加载加速度等方法对双轴敏感结构内的温度场进行了计算.结果表明:(1)开机1.8 s后在敏感结构内形成一个以动热源为中心的温度场;(2)当有加速度加载时,动热源沿着加速度的方向移动,温度场随之偏移,两个正交X、Y敏感轴方向上对称设置的两热线温差ΔTX、ΔTY随着输入加速度ax、ay的加大呈现线性增长,X、Y两轴平均温度灵敏度为7.2×10-2 K/g;(3)根据输入-输出特性ax-VXOUT和ay-VYOUT曲线得到数学模型,X、Y两轴平均灵敏度为0.502 V/g,平均非线性度为2.82％,平均交叉耦合为2.3％,从而揭示了敏感机理.
文献关键词：
热气体加速度计;微机械;动热源;双轴;交叉耦合;敏感机理
中图分类号：
作者姓名：
朴林华;佟嘉程;李备;张严
作者机构：
北京信息科技大学 北京市传感器重点实验室, 北京 100101
文献出处：
引用格式：
[1]朴林华;佟嘉程;李备;张严-.动热源摆式双轴MEMS热加速度计敏感机理的研究)[J].电子元件与材料,2022(12):1324-1331
A类：
VXOUT,VYOUT,热气体加速度计
B类：
动热源,摆式,双轴,MEMS,热加,敏感机理,研究模型,网格划分,开机,有加,热线,TX,TY,ax,ay,线性增长,平均温度,温度灵敏度,输出特性,非线性度,交叉耦合,微机械
AB值：
0.291902
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