典型文献
一种用于高精度电容传感器电路的三级运算放大器
文献摘要：
为提高电容式传感器专用集成电路(ASIC)的检测精度,设计了一种三级运算放大器电路.该放大器电路为全差分实现形式,采用三级共源放大器级联结构,使用密勒补偿并调整零点抵消高频极点,以保证放大器的稳定性.该放大器电路基于0.18 μm标准CMOS工艺设计实现,工作电压为1.8 V,工作电流为80 μA.电路仿真结果显示:三级运算放大器的直流增益为118dB,单位增益频率为73 MHz,噪声水平为0.21μV/√Hz.芯片测试结果表明,采用该放大器的电容传感器电路前端的非线性优于6×10-5.该放大器功耗低、面积小、可靠性好,在工程上实现了较优的综合性能.
文献关键词：
专用集成电路(ASIC);微电子机械系统(MEMS);三级运算放大器;密勒补偿;高精度电容传感器
中图分类号：
作者姓名：
任臣;杨拥军
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051
文献出处：
引用格式：
[1]任臣;杨拥军-.一种用于高精度电容传感器电路的三级运算放大器)[J].半导体技术,2022(04):325-331
A类：
高精度电容传感器,三级运算放大器,118dB
B类：
传感器电路,电容式传感器,专用集成电路,ASIC,检测精度,放大器电路,全差分,实现形式,级联结构,密勒补偿,零点,抵消,极点,路基,CMOS,工艺设计,设计实现,工作电压,电路仿真,直流增益,MHz,噪声水平,芯片测试,功耗,微电子机械系统,MEMS
AB值：
0.245758
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