典型文献
基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究
文献摘要：
将微纳半球谐振腔与微机械加速度计结构相结合,设计了一种基于半球谐振腔的微光学加速度计.首先分析了微光学加速度计的基本工作原理,接着分析了反射膜和增透膜材料对微纳腔影响规律,并利用时域有限差分(FDTD)光学仿真软件进行仿真测试,研究了不同膜厚对谐振腔谐振效果的影响.最后基于光强解调原理,利用仿真软件得到光强信号与变化腔长的关系,实现了对输出光强信号的解调,从仿真角度验证了本方案的可行性.
文献关键词：
半球腔;微光学加速度计;反射膜;增透膜;光强解调
中图分类号：
作者姓名：
张婷;杨波
作者机构：
东南大学仪器科学与工程学院,江苏南京210096;东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室,江苏南京210096
文献出处：
引用格式：
[1]张婷;杨波-.基于半球谐振腔的微光学加速度计结构设计仿真研究)[J].传感器与微系统,2022(05):44-47,52
A类：
微光学加速度计
B类：
谐振腔,仿真研究,微机械,基本工作原理,反射膜,增透膜,膜材料,时域有限差分,FDTD,光学仿真,仿真测试,光强解调,输出光强,半球腔
AB值：
0.22635
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