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氮化铝Lamb波谐振器的支撑轴区域声反射结构研究
文献摘要：
本文综合运用有限元仿真和实验相结合的方法,研究分析了氮化铝兰姆(Lamb)波谐振器的支撑轴区域声反射结构对串联谐振品质因数(Qs)的影响.对于频率约1.56 GHz的Lamb波谐振器,窄支撑和全支撑锚点结构的Qs值基本相当;设置圆弧形和斜边形的声反射结构可减小支撑轴区域的位移幅值,进而降低锚点损耗;设置弧形沟槽有助于将声能限制在谐振腔区域,进而提升Qs值;在衬底与支撑轴相邻区域沉积金属铝,可增加衬底与支撑轴的声阻抗失配程度,有利于声波反射回谐振腔.此外,基于6 in(1 in=2.54 cm)氮化铝工艺平台,成功制备了本文所设计的器件,且测试结果与模拟结果基本吻合,采用上述几种声反射结构均可提升Qs值,其中斜边形反射结构对Qs值的提升最为显著,Qs值从2232.1提高到3256.5.
文献关键词：
压电谐振器;有限元分析;声反射结构;锚点损耗;品质因数
中图分类号：
作者姓名：
王星宇;吕世涛;张敖宇;孙海燕;赵继聪
作者机构：
南通大学信息科学技术学院,江苏南通226019
文献出处：
引用格式：
[1]王星宇;吕世涛;张敖宇;孙海燕;赵继聪-.氮化铝Lamb波谐振器的支撑轴区域声反射结构研究)[J].传感器与微系统,2022(09):20-24
A类：
声反射结构,锚点损耗,压电谐振器
B类：
氮化铝,Lamb,支撑轴,结构研究,有限元仿真,兰姆,串联谐振,品质因数,Qs,GHz,圆弧形,斜边,小支,位移幅值,沟槽,声能,谐振腔,衬底,相邻区域,积金,金属铝,声阻抗,阻抗失配,声波反射,射回
AB值：
0.248919
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