典型文献
环形氮化铝压电MEMS谐振器的支撑结构设计研究
文献摘要：
基于有限元仿真研究了方环和圆环形谐振器的静态位移点,并分析了支撑轴位置对谐振器性能的影响,提出了优化设计方案:对于方环形谐振器,在对角处设置双端侧向支撑以降低其锚点损耗;对于圆环形谐振器,采用单端侧向支撑以及三端底部支撑相结合的器件结构,在保证电学信号引出的同时,提升器件的品质因数Q.针对所设计的器件结构特征,设计了一种基于七步光刻工艺的微纳制程,并成功实现器件的高成品率制备.测试结果表明:前者的Q值和机电耦合系数k2eff分别为1707.4和0.98％,后者的Q值和k2eff分别为1844.7和1.58％.相比于四端支撑环形谐振器,优化设计的支撑结构使得器件Q值得到大幅提升.此外,还分析研究了不同表面电极材料对环形谐振器的性能影响.
文献关键词：
微机电系统;压电谐振器;制备工艺;锚点损耗;品质因数
中图分类号：
作者姓名：
诸政;吕世涛;张敖宇;孙海燕;赵继聪
作者机构：
南通大学信息科学技术学院,江苏南通226019
文献出处：
引用格式：
[1]诸政;吕世涛;张敖宇;孙海燕;赵继聪-.环形氮化铝压电MEMS谐振器的支撑结构设计研究)[J].传感器与微系统,2022(03):24-27,35
A类：
锚点损耗,k2eff,压电谐振器
B类：
氮化铝,MEMS,支撑结构,有限元仿真,仿真研究,圆环,环形谐振器,支撑轴,轴位,优化设计方案,对角,双端,侧向支撑,单端,三端,支撑相,器件结构,电学,引出,提升器,品质因数,七步,光刻工艺,制程,成品率,机电耦合系数,四端,支撑环,电极材料,微机电系统,制备工艺
AB值：
0.300337
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