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PVT法同质外延制备大尺寸Al极性氮化铝晶体生长工艺及其表征分析研究
文献摘要：
本文基于自主设计的氮化铝生长炉,开展了四组不同工艺条件下Al极性面氮化铝籽晶同质外延生长氮化铝单晶的生长特征及其结晶质量表征研究.研究发现:不同工艺条件下生长的晶体的拉曼图谱E2(high)特征峰峰位表明,晶体内部均存在较小的拉应力;在坩埚顶部在相对较高温度2210℃、坩埚底部与顶部温差42℃的低过饱和度生长条件下,晶体表面光滑,呈现阶梯流生长形貌,并具有典型的氮化铝单晶生长习性面,晶体初始扩张角大于40°,高分辨率X射线衍射(HRXRD)测得0002、1012反射摇摆曲线及拉曼光谱检测结果表明,该条件下生长的氮化铝晶体结晶质量优异,并可实现快速扩径.基于该生长条件,通过外延生长后成功获得尺寸?45～47 mm的氮化铝单晶锭,相关表征结果表明生长的氮化铝晶体具有优越的结晶性能.
文献关键词：
氮化铝;物理气相传输法;同质外延;生长条件;结晶质量
中图分类号：
作者姓名：
李哲;张刚;付丹扬;王琦琨;雷丹;任忠鸣;吴亮
作者机构：
上海大学材料科学与工程学院,上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室,省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室,上海 200444;奥趋光电技术(杭州)有限公司,杭州 311106
文献出处：
引用格式：
[1]李哲;张刚;付丹扬;王琦琨;雷丹;任忠鸣;吴亮-.PVT法同质外延制备大尺寸Al极性氮化铝晶体生长工艺及其表征分析研究)[J].人工晶体学报,2022(02):208-215
A类：
氮化铝晶体,物理气相传输,物理气相传输法
B类：
PVT,大尺寸,晶体生长,生长工艺,表征分析,自主设计,四组,不同工艺,工艺条件,籽晶,同质外延生长,生长特征,结晶质量,质量表征,表征研究,拉曼图谱,E2,high,特征峰,峰峰,拉应力,坩埚,过饱和度,生长条件,晶体表面,表面光,生长形貌,单晶生长,生长习性,扩张角,HRXRD,摇摆曲线,拉曼光谱,光谱检测,该条,扩径,结晶性能
AB值：
0.309454
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