典型文献
面向工程振动环境监测需求的MEMS加速度计及其应用
文献摘要：
要:随着我国重大建设项目的日益增多,核电设施、大型桥梁、大科学装置等重要建筑工程对其所处环境的振动控制要求愈发苛刻,对工程振动的监测需求也日益强烈.基于硅微加工和超精密制造的MEMS加速度计集成度更高、尺寸更小、功耗和成本更低,高度契合需要使用极多加速度计的振动环境监测的应用需求.文中介绍了压电式和电容式MEMS加速度计的测量原理、技术特征和发展历程,以及它们所构成无线传感网络在国内外重要建筑上的结构健康监测应用,并根据振动监测系统技术发展需求,展望了MEMS加速度计的发展方向.
文献关键词：
传感器;MEMS加速度计;工程振动;振动测量;结构健康监测
中图分类号：
作者姓名：
高昕星;胡明祎;兰日清;刘庆宾;赵安中
作者机构：
国机集团科学技术研究院有限公司,北京 100050;国机集团工程振动控制技术研究中心,北京 100020
文献出处：
引用格式：
[1]高昕星;胡明祎;兰日清;刘庆宾;赵安中-.面向工程振动环境监测需求的MEMS加速度计及其应用)[J].仪表技术与传感器,2022(01):1-10
A类：
B类：
工程振动,振动环境,环境监测,MEMS,重大建设项目,核电,大型桥梁,大科学装置,建筑工程,振动控制,苛刻,微加工,超精密制造,集成度,功耗,极多,多加速度计,应用需求,压电式,电容式,测量原理,技术特征,无线传感网络,结构健康监测,监测应用,振动监测系统,技术发展需求,振动测量
AB值：
0.347789
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