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MEMS加速度计在振动环境下的可靠性分析
文献摘要：
以电容式MEMS加速度计的悬臂梁结构为研究对象,分析了振动环境下MEMS加速度计的典型失效模式及失效机理;在Miner理论的基础上,引入了应力-寿命曲线,建立了疲劳可靠性模型;在考虑强度退化前提下,基于应力强度干涉理论建立了塑性形变可靠性模型;运用蒙特卡洛法验证了两种可靠性模型的准确性,并分析了模型关键参数对可靠度的影响.结果显示,振动应力水平和材料的屈服强度对可靠度有显著的影响,减小应力幅值,增大屈服强度,可以提高MEMS加速度计的可靠性.
文献关键词：
MEMS加速度计;悬臂梁;疲劳失效;塑性形变;蒙特卡洛法;可靠性
中图分类号：
作者姓名：
李明珠;许高斌;董娜娜;袁婷;马渊明;冯建国
作者机构：
合肥工业大学微电子学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,合肥230009
文献出处：
引用格式：
[1]李明珠;许高斌;董娜娜;袁婷;马渊明;冯建国-.MEMS加速度计在振动环境下的可靠性分析)[J].半导体光电,2022(06):1055-1061
A类：
B类：
MEMS,加速度计,振动环境,可靠性分析,电容式,悬臂梁结构,失效模式,失效机理,Miner,寿命曲线,疲劳可靠性,可靠性模型,强度退化,应力强度,干涉理论,塑性形变,蒙特卡洛法,可靠度,振动应力,应力水平,屈服强度,应力幅值,疲劳失效
AB值：
0.342638
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