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3ω法表征热导率研究进展
文献摘要：
3ω法作为一种表征固体薄膜、液体、气体等材料热导率的通用性技术,由于其测量成本低、采集速度快和样品制备工艺相对简单等独特的优势,在功率器件、绿色能源、生物医学等领域具有良好的应用前景.综述了近年来3ω法表征热导率的研究进展.首先介绍了 3ω法表征热导率的基本原理;然后归纳总结了 3ω法在不同微纳材料尺度下表征热导率的进展和成果,分类说明了 3ω法在生物医学领域和第三代宽禁带功率半导体材料领域的最新应用;最后对3ω法表征热导率的研究成果进行总结,指出了 目前存在的问题,并进一步展望了未来的发展方向.
文献关键词：
3ω法;热导率;功率器件;生物医学;微纳材料
中图分类号：
作者姓名：
郝斌;张建新
作者机构：
天津工业大学电子与信息工程学院,天津 300387;天津工业大学天津市光电检测技术与系统重点实验室,天津 300387;天津工业大学大功率半导体照明应用系统教育部工程研究中心,天津 300387
文献出处：
引用格式：
[1]郝斌;张建新-.3ω法表征热导率研究进展)[J].半导体技术,2022(06):429-436,454
A类：
B类：
热导率,通用性,样品制备,制备工艺,功率器件,绿色能源,微纳材料,进展和成果,生物医学领域,第三代,禁带,半导体材料,材料领域
AB值：
0.317465
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